設備監控整合Load Lock Position Detection
Load Lock 位置偵測
整合 Motor Encoder 訊號與光學位置感測，比對馬達與滑軌位置，異常時提供警報與機台停機訊號。
產品重點 ＋
雙重位置檢測 · 異常警報 · 控制器整合
MONITORING & CONTROLLoad Lock 位置偵測感測器與控制器整合應用
ENGINEERED FOR YOUR APPLICATION01 / MONITORING & CONTROL
監控與控制整合
整合位置與狀態訊號，
建立設備異常偵測與回應機制。
設備監控整合
Chamber 狀態監測O₂ Measuring System
氧氣量測與監控
以 O₂ Sensor 整合控制器，規劃 Chamber Air Leak 監控及資料回傳，支援設備狀態觀察。
產品重點 ＋
SEMI2 認證
真空專用特殊設計氧化鋯
氦氣漏率：<1E-8 mbar.l/s
02 / ENGINEERING · 工程改造
從既有設備出發，
規劃下一步改善。
以機台介面、機構條件與維護需求為依據，
討論零件翻修、功能更新與系統整合。
01 / FLOW CONTROL
液體流量控制系統更新
針對 TEL Flow Meter 相關功能，規劃以控制板銜接機台指令與 LFC 模組，整合流量量測、控制及實際流量回傳。
- 既有機台介面與通訊整合
- 流量量測及控制模組規劃
- 電控與機構尺寸測試
機台指令目標流量
↓控制板通訊轉換與回授
↓ ↑LFC 模組流量量測與控制
02 / COMPONENT REFURBISHMENT
Top Plate 與 Diffuser 改造
針對 SICONI PRODUCER GT 組件需求，討論 Top Plate 翻修、轉換加工及 Central Diffuser 新品製作方案。
- 翻修與鎳鍍層需求評估
- 關鍵尺寸與公差確認
- 材料、鍍層及檢驗項目規劃
03 / LAMP HEAD IMPROVEMENT
Lamp Head 冷卻與焊接改善
針對 RTP 燈頭冷卻管路與異材質焊接，規劃材料與表面處理改善，並搭配檢驗確認組件品質。
- 鎳基焊材與焊接前表面處理
- 冷卻管路改善設計
- 尺寸、氦氣測漏、水壓與平坦度檢測
03 / PARTS & SERVICE
零件與維修配套
提供燈管、波紋管與製程零件，
配合設備規格與維護需求。
真空系統零件Bellows
波紋管供應與維修
提供波紋管新品、客製設計製造及維修服務，依設備需求討論規格與供應方式。
產品重點 ＋
新品供應 · 客製設計 · 維修服務
RTP / EPI 零件Lamps
半導體設備燈管
提供應用於 RTP 快速升溫、退火與 EPI 磊晶設備的燈管，依機台與零件規格確認需求。
產品重點 ＋
加熱燈管 · 規格確認 · 零件供應
300 mm 晶圓應用Si-Epi Parts
SiC 製程零件
產品資料涵蓋 Susceptor、Preheat Ring 與 Lift Pin 等 Si-Epi 製程零件。
產品重點 ＋
Susceptor · Preheat Ring · Lift Pin
ABOUT US / 關於恒升
理解設備需求，
把改善落實在細節。
恒升應用有限公司成立於 2021 年，總公司位於新竹，並設有台南永康服務據點。專注半導體 Diff 設備應用，以監控與控制整合、工程改造為核心，搭配 EPIG、RTO 與 RTP 零件服務。
從感測器與控制器整合，到零件設計與加工優化，我們依照設備條件，規劃適合的監控與功能偵測方案。
零件設計與加工感測與控制整合客製化系統規劃
HENGSHENG / 恒升應用
從監控整合到工程改造，
回應現場設備需求。
監控與控制整合 · 工程改造 · 零件與維修配套
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